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直驱电机四轴平台应用于PVD去膜机
X轴和Y轴为平板直线电机，Z轴为伺服电机平台，第四轴为可360°旋转的力矩电机
X轴、Y轴重复定位精度2um，X-Y垂直度0.01mm，Z-Y垂直度0.03mm，负载面-Y平行度0.03mm
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直线电机双驱平台应用于激光切割机床
重复定位精度±1 um， 绝对定位精度5um，走圆弧插补，圆度精度5um（轨迹 Ø6）
双层防护结构，有效保护直线电机平台内部零部件不受激光切割粉尘影响
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